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经营范围
发明名称
A CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION DEVICE FOR WAFER
摘要
申请公布号
KR20050062994(A)
申请公布日期
2005.06.28
申请号
KR20030094016
申请日期
2003.12.19
申请人
SILTRON INC.
发明人
KIM, HYUN CHUL
分类号
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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