发明名称 |
METHOD FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE CAPABLE OF FORMING FINE PATTERN |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR20050063150(A) |
申请公布日期 |
2005.06.28 |
申请号 |
KR20030094506 |
申请日期 |
2003.12.22 |
申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
LEE, MIN SUK;LEE, SUNG KWON |
分类号 |
H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283 |
主分类号 |
H01L21/283 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|