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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR METAL LINE ON SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050063327(A) 申请公布日期 2005.06.28
申请号 KR20030094719 申请日期 2003.12.22
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 EUN, BYUNG SOO
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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