| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATED LAYER GENERATION FOR DOUBLE-GATE FINFET DESIGNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050063674(A) |
申请公布日期 |
2005.06.28 |
| 申请号 |
KR20040095823 |
申请日期 |
2004.11.22 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
ALLER LNGO;GERNHOEFER VEIT;KEINERT JOACHIM;LUDWIG THOMAS |
| 分类号 |
G03F1/08;G06F17/50;H01L21/336;H01L21/82;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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