发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRESSURE CONTROL IN VACUUM PROCESSORS
摘要
申请公布号 KR100467539(B1) 申请公布日期 2005.06.28
申请号 KR19980707740 申请日期 1998.09.29
申请人 发明人
分类号 F16K31/12;(IPC1-7):F16K31/12 主分类号 F16K31/12
代理机构 代理人
主权项
地址