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发明名称
Methods of and apparatus for the production of high vacua
摘要
申请公布号
US3098155(A)
申请公布日期
1963.07.16
申请号
US19600013894
申请日期
1960.03.09
申请人
ARTHUR PFEIFFER G. M. B. H.
发明人
BECKER WILLI
分类号
F04B37/02;H01J41/12
主分类号
F04B37/02
代理机构
代理人
主权项
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