MULTI-BEAM PARTICLE COUNTER WITH MIRROR UNIT FOR GENERATING MULTI-BEAM AND MEASURING METHOD THEREOF,申请号KR19980000186-传众专利搜索

发明名称	MULTI-BEAM PARTICLE COUNTER WITH MIRROR UNIT FOR GENERATING MULTI-BEAM AND MEASURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号	KR100499164(B1)	申请公布日期	2005.06.24
申请号	KR19980000186	申请日期	1998.01.07
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	RYU, JAE JUN;CHOI, JAE HEUNG;LIM, GI HWAN
分类号	H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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