发明名称 Tweezer for wafer
摘要
申请公布号 KR100497196(B1) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 KR20030006315 申请日期 2003.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址