| 发明名称 |
Verfahren zur örtlich hochaufgelösten, massenspektroskopischen Charakterisierung von Oberflächen mittels einer Rastersondentechnik |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10393504(D2) |
申请公布日期 |
2005.06.23 |
| 申请号 |
DE2003193504 |
申请日期 |
2003.07.24 |
| 申请人 |
JPK INSTRUMENTS AG |
发明人 |
KNEBEL, DETLEF;AMREIN, MATTHIAS |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N27/62;G01N27/64;G01Q30/02;G01Q60/22;H01J49/04 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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