发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung mit vertiefter Kanalstruktur
摘要
申请公布号 DE19612948(B4) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 DE19961012948 申请日期 1996.04.01
申请人 LG SEMICON CO., LTD. 发明人 LEE, SUNG CHUL;LIM, MIN GYU
分类号 H01L27/112;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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