| 发明名称 |
SYSTEM FOR PROCESSING ELECTRONIC DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050062399(A) |
申请公布日期 |
2005.06.23 |
| 申请号 |
KR20040106796 |
申请日期 |
2004.12.16 |
| 申请人 |
ASM ASSEMBLY AUTOMATION LTD. |
发明人 |
CHENG CHI WAH;TSANG HOI FUNG;YEUNG CHI YAT;TSE WANG LUNG ALAN |
| 分类号 |
G01N21/956;G01R1/00;G01R31/28;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/50;H01L21/66;H05K13/00;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
G01N21/956 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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