| 发明名称 |
Nitride semiconductor substrate and method for manufacturing the same, and nitride semiconductor device using nitride semiconductor substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2001274545(B2) |
申请公布日期 |
2005.06.23 |
| 申请号 |
AU20010274545 |
申请日期 |
2001.06.19 |
| 申请人 |
NICHIA CORPORATION |
发明人 |
KAZUYUKI CHOCHO;HIROYUKI KIYOKU;TOKUYA KOZAKI;HITOSHI MAEGAWA |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B25/18;H01L21/20;H01S5/02;H01S5/323;(IPC1-7):H01L021/00 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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