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发明名称 PLASMA REACTION CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20050061950(A) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 KR20030093593 申请日期 2003.12.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SEO, JUNG HUN;CHOI, YUN HO;PARK, YOUNG WOOK;KIM, JEONG TAE
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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