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发明名称
摘要
申请公布号 JP3110438(U) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 JP20050000686U 申请日期 2005.02.15
申请人 发明人
分类号 G03F1/08;G03F1/14;H01L21/027;H01L21/30;H01L31/02;H04B10/00;H04Q9/00;(IPC1-7):H04Q9/00 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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