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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Viellagensystemen
摘要
申请公布号 DE10019045(B4) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 DE20001019045 申请日期 2000.04.18
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 YAKSHIN, ANDREY E.;LOUIS, ERIC;BIJKERK, FREDERIK
分类号 C23C14/06;C23C14/54;C23C14/58;G02B1/10;G02B5/26;G02B5/28;G21K1/06;(IPC1-7):G02B5/28;G03F1/00 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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