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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON EXTREM-ULTRAVIOLETTLICHT FÜR DIE VERWENDUNG IN DER FOTOLITOGRAPHIE
摘要
申请公布号 DE69729588(T2) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 DE1997629588T 申请日期 1997.12.23
申请人 ADVANCED ENERGY SYSTEMS, INC. 发明人 GUTOWSKI, M.;CALIA, S.;TODD, M.
分类号 G21G4/00;G03F7/20;G21K5/00;H01L21/027;H01S3/03;H01S3/22;H05G2/00;(IPC1-7):G21G4/00;G21G5/00;G01J1/00 主分类号 G21G4/00
代理机构 代理人
主权项
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