| 主权项 |
1.一种旋转机之寿命预测方法,其特征在于包含:依据监视器用制造工序中所用之监视器用旋转机之特征量之监视器时间序列资料,判定前述监视器用旋转机即将停止前之异常状态之开始时刻,用统计的方法解析前述监视器时间序列资料,以求出前述特征量之前述异常状态之开始时刻之値作为异常判断之临限値之步骤;在制造工序中测定诊断对象旋转机之马达电流之特征量之时间序列资料之步骤;依据前述制造工序中前述特征量变动之前述时间序列资料,制成评估用诊断资料之步骤;及将前述评估用诊断资料超过前述临限値之时刻,判定为前述诊断对象旋转机之寿命之步骤者。2.如申请专利范围第1项之旋转机之寿命预测方法,其中前述临限値系依据马哈拉诺比斯距离(Mahalanobis distance)而决定。3.如申请专利范围第1项之旋转机之寿命预测方法,其中前述马达电流之特征量包含前述制造工序中产生之电流峰値数。4.如申请专利范围第1项之旋转机之寿命预测方法,其中前述评估用诊断资料系由在成为前述异常状态前之正常状态下超过前述临限値而被误诊断为异常之错误之危险率不同之多数前述特征量所作成。5.如申请专利范围第1项之旋转机之寿命预测方法,其中前述马达电流之电源引起之变动系监视前述诊断对象旋转机之马达电压及马达电力中至少一方而分选。6.一种制造装置,其特征在于具备:诊断对象旋转机,其系执行制造工序者;测定单元,其系在前述制造工序中测定前述诊断对象旋转机之马达电压之特征量之时间序列资料者;及资料处理单元,其系依据在前述制造工序中前述特征量变动之前述时间序列资料,作成评估用诊断资料,将前述评估用诊断资料超过依据监视器用旋转机之特征量之监视器时间序列资料用统计的方法所求出之临限値之时刻,判定为前述诊断对象旋转机之寿命者。7.如申请专利范围第6项之制造装置,其中前述测定单元具备测定前述诊断对象旋转机之马达电压及马达电力之电压计及电力计中至少一方。8.如申请专利范围第6项之制造装置,其中前述诊断对象旋转机系半导体制造装置用之乾式泵者。9.如申请专利范围第6项之制造装置,其中前述资料处理单元设置于局部区域网路上之电脑。10.如申请专利范围第6项之制造装置,其中前述资料处理单元设置于电脑合并生产系统上之资料处理系统。图式简单说明:图1系表示本发明之实施形态半导体制造装置之概略图。图2系表示图1所示之旋转机(乾式泵)之内部构造之剖面图。图3系表示马达电流之时间经过之变化之一例曲线图。图4系表示在成膜步骤之马达电流之时间经过之变化之一例曲线图。图5系表示在成膜步骤之马达电流之时间经过之变化之另一例曲线图。图6系马达电流之电流最大値之正常状态及异常状态之箱形示意图。图7系马达电流之小峰値数之正常状态及异常状态之箱形示意图。图8系马达电流之大峰値数之正常状态及异常状态之箱形示意图。图9系表示本发明之实施形态之半导体制造装置用旋转机之寿命预测方法之说明用之流程图。图10系表示执行本发明之另一实施形态之半导体制造装置用旋转机之寿命预测之半导体生产系统之构成例之区块图。 |
