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发明名称 METHOD FOR REMOVING DEFECT IN FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050059702(A) 申请公布日期 2005.06.21
申请号 KR20030091416 申请日期 2003.12.15
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 OH, KEE JOON
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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