发明名称 A WAFER CARRIER FOR CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20050059727(A) 申请公布日期 2005.06.21
申请号 KR20030091442 申请日期 2003.12.15
申请人 SILTRON INC. 发明人 BAE, KI MAN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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