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发明名称 A DEVICE FOR SUPPLYING SLURRY
摘要
申请公布号 KR20050059501(A) 申请公布日期 2005.06.21
申请号 KR20030091127 申请日期 2003.12.15
申请人 SILTRON INC. 发明人 KIM, SANG RAK
分类号 H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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