发明名称 METHODS OF FORMING A SMALL CONTACT STRUCTURE IN A SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICES FABRICATED USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050059400(A) 申请公布日期 2005.06.20
申请号 KR20040056125 申请日期 2004.07.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, SUK HUN;SON, YOON HO
分类号 H01L21/28;H01L21/20;H01L21/44;H01L27/24;H01L45/00;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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