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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING A PRESETTING TIME IN A WAFER BURN-IN SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100496475(B1) 申请公布日期 2005.06.20
申请号 KR20020069980 申请日期 2002.11.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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