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发明名称 CHAMBER DOOR DRIVING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20050058831(A) 申请公布日期 2005.06.17
申请号 KR20030090812 申请日期 2003.12.12
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHAE, JAE SIK;KIM, YONG JAE
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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