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发明名称
硷可溶性树脂
摘要
本发明提供一种硷可溶性树脂,其可用作为感放射线性树脂组成物之主要成份,该组成物可供形成出具有优越的灵敏度、残膜率、显影性、解像度、耐热性、热变色性、耐化学药品性,特别是大幅度地提高对各式各样的基板之贴紧性,在可见光域的透明性之光阻剂薄膜。该硷可溶性树脂系经使具有特定的双酚茀结构之环氧酯化合物与多元醇、多元性羧酸或其酐进行反应即可制得。
申请公布号
TW200519081
申请公布日期
2005.06.16
申请号
TW093129513
申请日期
2004.09.30
申请人
长濑化成股份有限公司
发明人
森田贵之;北野庆;细见哲也
分类号
C07C69/00
主分类号
C07C69/00
代理机构
代理人
何金涂;何秋远
主权项
地址
日本
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