基板载具

摘要

一种在半导体晶圆处理操作期间运输矽半导体晶圆之载具，包括有一装载盒、一门和一凸缘，该凸缘系建构成可与一机器结合，使得该载具可被该机器提举。一上升座板连接该凸缘至该容器，使得该凸缘上的负载被传送至一该装载盒顶部以外之装载盒部分，以避免该装载盒扭曲，以维持该装载盒和该门之间的密封完整性。