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发明名称
具有改良式写入/抹除特性多层双位元记忆体的制造方法
摘要
揭露一具有改良式写入/抹除功能之双位元记忆体多重结构及其制造方法。此结构包含位于中间介电层或氮化层两侧的一对浮动闸,用来定义两个电子之储存位置,以代表自中间介电层收集的双重资料位元。
申请公布号
TW200520169
申请公布日期
2005.06.16
申请号
TW093134986
申请日期
2004.11.15
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
杨青天;林睦益;曾铕寪;曹敏;李豫华
分类号
H01L21/8247
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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