| 摘要 |
光学可调谐滤光器包含：具有透光性的第一基板3，其包含活动部31；具有透光性的第二基板20，其系设置而与第一基板对立；第一间隙21和第二间隙22，分别被设置在活动部31与第二基板20之间；干涉部，系经由第二间隙22而在活动部31与第二基板20之间造成入射光的干涉；驱动部，藉由使用第一间隙21相对于第二基板20位移活动部31来改变第二间隙22的距离。这使其可能提供具有较简单结构和较小尺寸的光学可调谐滤光器，可经由简化制程来制造而不用脱离孔，且可达成活动部的稳定驱动，以及制造此光学可调谐滤光器的方法。 |
