使用腐蚀性液体的超音波辅助性蚀刻

摘要

揭露供化学性蚀刻一工作部件之超音波蚀刻装置。此装置包含：一外槽，至少部分充满一水溶液；一内槽，至少部分位于外槽中，且接触水溶液，此内槽至少部分充满一蚀刻溶液；一盖，接合内槽之开口；以及一超音波转换器，耦合至外槽，以将超音波能量给予内槽中的蚀刻溶液。亦揭露使用此装置蚀刻工作部件的方法。