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发明名称
利用化学汽相沉积制备奈米碳材的方法
摘要
本发明提供一种利用化学汽相沉积制备奈米碳材的方法,包含下列步骤:(a)提供一呈一真空状态之反应器、(b)提供一催化剂及一碳源进入该反应器内,以及(c)对该反应器提供一高周波热源,藉此使该催化剂及碳源裂解并合成一奈米碳材产物。
申请公布号
TW200519224
申请公布日期
2005.06.16
申请号
TW092134072
申请日期
2003.12.03
申请人
国立台湾师范大学
发明人
郑秀凤;曹佑民;陈宜君;谢昀朔;林谕男;蔡春鸿
分类号
C23C16/26
主分类号
C23C16/26
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
台北市大安区和平东路1段162号
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