发明名称 用以去除感光树脂之稀释剂组成物
摘要 本发明是有关于一种用以去除感光树脂之稀释剂组成物,特别是指一种包含有a)丙二醇单烷基醚乙酸酯、b)乙酸烷基酯,以及c)乳酸烷基酯之用以去除感光树脂的稀释剂组成物。本发明所提供之一种用以去除感光树脂之稀释剂组成物,不仅可针对液晶显示器中所使用的玻璃基板,以及用在制造半导体的晶圆之缘边和背面部位,以短时间且有效率地去除不必要的感光树脂;且对人体的安全性高,又可适用在多样的工程,所以可使液晶显示器及半导体制造的工程简化,且又可提升经济及生产效率。
申请公布号 TW200519549 申请公布日期 2005.06.16
申请号 TW093129489 申请日期 2004.09.29
申请人 东进世美肯股份有限公司 发明人 尹锡壹;全雨植;朴熙珍
分类号 G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人 刘緖伦
主权项
地址 韩国