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发明名称
用以去除感光树脂之稀释剂组成物
摘要
本发明是有关于一种用以去除感光树脂之稀释剂组成物,特别是指一种包含有a)丙二醇单烷基醚乙酸酯、b)乙酸烷基酯,以及c)乳酸烷基酯之用以去除感光树脂的稀释剂组成物。本发明所提供之一种用以去除感光树脂之稀释剂组成物,不仅可针对液晶显示器中所使用的玻璃基板,以及用在制造半导体的晶圆之缘边和背面部位,以短时间且有效率地去除不必要的感光树脂;且对人体的安全性高,又可适用在多样的工程,所以可使液晶显示器及半导体制造的工程简化,且又可提升经济及生产效率。
申请公布号
TW200519549
申请公布日期
2005.06.16
申请号
TW093129489
申请日期
2004.09.29
申请人
东进世美肯股份有限公司
发明人
尹锡壹;全雨植;朴熙珍
分类号
G03F7/42
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
刘緖伦
主权项
地址
韩国
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