用于执行动态光刻处理之空间光调变器及方法

摘要

一种空间光调变器其系组配成以缩小之频宽使用光刻处理移转影像至基材。该空间光调变器包括记忆体元件，该记忆体元件系组配成可储存资料于其中，以及移动资料于其间。光调变元件系与记忆体元件之个别元件通讯，光调变元件可操作而回应于储存于个别记忆体元件之资料改变。记忆体元件可组配成移位暂存器，来双向移位资料于记忆体元件间。各个记忆体元件进一步包括一回授元件，此处该回授元件为「微弱」回授元件，其用来辅助维持电压俾最小化光电流效应。