| 摘要 |
用于电化学处理微特征工件的腔室、系统和方法在此处被揭露。在一实施例，一种电化学沈积腔室，其包括一处理单元，该处理单元具有一第一流动系统，该第一流动系统被构型，以于将一第一处理流体的流动输送到一微特征工件。该腔室更包括一电极单元，其具有一电极和一第二流动系统，该第二流动系统被构型，以于将一第二处理流体的流动输送到至少靠近该电极。该腔体更包括一非多孔性栅栏(nonporous barrier)，该非多孔性栅栏位于该处理单元和该电极单元之间，用来分离该第一和第二处理流体。该非多孔性栅栏被构型，以让阳离子和阴离子经由该栅栏流通于该第一和第二处理流体之间。 |
