具光学定位之X-射线微分析器OPTICAL ALIGNMENT OF X-RAY MICROANALYZERS

摘要

本发明揭示一种用于样本之X射线分析之方法，其包括以X射线激发源将光学辐射源定位，使得以由光学辐射源所产生的光学辐射照射在经X射线激发源所产生之X射线光束照射之样本上的点。将自样本反射的光学辐射用于产生第一讯号，其指示样本上点的定位。回应于第一讯号而将X射线光束定位，使得该点与样本之目标区域相符。在定位X射线光束后，将自样本上之点所接收的X射线光子用于产生第二讯号，其指示目标区域之特征。