氧化层的制作方法

摘要

本发明提供一种氧化层的制作方法。将一流体，例如水，加温且加压至超临界或近超临界态，并与至少一氧化剂混合。将超临界或近超临界态水与至少一氧化剂混合物覆以一工件，以形成一氧化层于工件上。其中至少一氧化剂的成分包括氮，以及形成之氧化层包括一氮掺杂之氧化层。