电容介电层结构及其制造方法

摘要

一种电容介电层之结构及制造方法。此电容介电层结构具有一预定电容结构之基板、一氮化物层形成于预定电容结构的表面上，及一氮氧化物层形成于氮化物层之上，以形成一矽／氮化物／氮氧化物的堆叠结构。其中，氮氧化物层是在湿式氧化制程中加入氧化亚氮进行反应而得，随后并使用氧化亚氮进行高温退火处理。此结构不但具有较高的介电常数，更由于使用不含氢之气体反应，因此可有效降低漏电流。