制造上瑕疵侦测方法及其系统

摘要

本发明提供一种新颖的制造上瑕疵侦测方法，该方法系用以在一个使用多数机器之制程中找寻造成产品瑕疵之主因机器集合(machine set)。本发明之制造上瑕疵侦测方法包括：取得在一制程中与产品制造有关之制造资料；分析该制造资料而产生一机器集合(machine set)之候选名单；其中该机器集合包括与该产品之瑕疵有关之机器；及在该机器集合名单中找寻，产生一瑕疵主因机器集合；其中该瑕疵主因机器集合包括与该产品瑕疵高度相关之机器。