凝集剂及其制造装置及方法、以及流体之凝集处理装置及方法

摘要

本发明系提供一种含氧化矽与金属成分之凝集剂。本发明之凝集剂制造装置(10A)，系具备生成机构，而该生成机构系于含有为被除去物之氧化矽的流体中导入周期表第8族之金属离子，而生成由氧化矽与金属离子结合而成之凝集剂。该生成机构可采用电极对。以如此之凝集剂制造装置(10)所制造之凝集剂之凝集效果极高，且凝集效果之经时变化亦少。该凝集剂系以含有大量氧化矽成分之CMP废水作为原料而生成。本发明亦提供一种可从含有被除去物之流体中除去该被除去物之凝集处理装置以及使用该处理装置之凝集处理方法。