附有减振闭锁机构之晶圆容器及门

摘要

一种容器，用以固持复数个轴向对齐且大致平行间隔配置的晶圆，该容器包括壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及前开口。壳体内至少设有一晶圆支撑器，而在壳体底部依着运动学上的耦合。容器具有可密封关闭前开口的门，其包括底座及底座上可动的闭锁机构。闭锁机构包括可选择性旋转的凸轮，以在第一支持位置与第二支持位置之间切换闭锁机构；以及至少一振动阻尼器，其可缓冲闭锁机构于第一及第二支持位置间切换时所产生的振动。