| 摘要 |
本发明之目的在于：藉由将输出相位进行180度差异化，可将不平衡输入作为平衡输出进行输出。一种微电气机械系统之共振器(MEMS共振器(101))，其具备有输入信号之输入电极(111)，以平衡输出信号输出不平衡输入信号之输出电极(第一输出电极(112)、第二输出电极(113))，以及介以空间(121)对向于输入电极(111)、第一输出电极(112)及第二输出电极(113)之振动元件(114)；又，第一输出电极(112)系配置于与输入电极(111)之相位有180度差异之相位的位置者，第二输出电极(113)系配置于与输入电极(111)之相位相同相位之位置者。 |
