供黄光微影法用之空间光调变器的缺陷改善

摘要

一种供使用于一光微影系统中的空间光调制器，包含多数光调制元件等可利用重复曝光造样技术将一影像光微影地移转于一基材上，以减少被移转影像中的瑕疵。一第一组光调制元件系可操作来将该影像的一部份光微影地移转至该基材之一区域上，且一第二组光调制元件亦可操作来将该部份影像光微影地移转至该基材的同一区域上。该空间光调制器更含有记忆元件等导接各光调制元件而可储存代表该部份影像的资料。