| 摘要 |
本发明之课题在于高作业效率地于圆盘状之处理对象物形成涂膜。本发明之隙缝涂布装置100具备：涂布头120，系自具有隙缝的喷嘴将涂布液供给至圆盘状处理对象物10；旋转用马达102，系旋转处理对象物10；回旋用马达109，系相对于处理对象物10的表面沿水平方向回旋涂布头120；以及上下用马达113，系相对于处理对象物10的表面沿垂直方向上下移动涂布头120。根据本发明，由于藉二个马达109、113三次元地移动涂布头120，故在将处理对象物10安装于隙缝涂布装置100时，或自隙缝涂布装置100排出处理对象物10时，涂布头120等不会构成其障碍。 |
