| 发明名称 |
Verfahren zur Reduzierung der adhäsiven Eigenschaften von MEMS und antihaftbeschichtete Vorrichtung |
| 摘要 |
Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung (100) vorgeschlagen, wobei eine Beschichtung der Oberfläche (107) der Vorrichtung (100) mittels einer antihaftenden Schicht (108) herstellbar ist.
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| 申请公布号 |
DE102004028538(A1) |
申请公布日期 |
2005.06.16 |
| 申请号 |
DE200410028538 |
申请日期 |
2004.06.11 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
HENNING, FRANK;MUELLER, LUTZ;HOEFER, HOLGER;KAELBERER, ARND |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;H01R13/52;(IPC1-7):B81C1/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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