| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR REINIGUNG VON BÜRSTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69634732(D1) |
申请公布日期 |
2005.06.16 |
| 申请号 |
DE1996634732 |
申请日期 |
1996.11.08 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
SIMMONS, A.;KRUSELL, C. |
| 分类号 |
B08B7/04;A46B17/04;B08B1/00;B08B7/00;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/04 |
主分类号 |
B08B7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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