发明名称 Wärmebehandlungseinrichtung und Wärmebehandlungsverfahren
摘要 Es wird ein Bezugswert E0 erzeugt, der die einem Heizelement 32 zuzuführende elektrische Leistung festlegt. Es wird die Abweichung DELTAT der Temperatur T1, gemessen durch ein Strahlungsthermometer 4, von einer Solltemperatur T0 bestimmt, die durch eine Solltemperaturanstiegskurve M bestimmt wird. Ein Kompensationswert T1 wird auf der Grundlage der Abweichung DELTAT und der Temperatur T1 bestimmt. Der Bezugswert E0 wird mit dem Kompensationswert E1 multipliziert. Das Heizelement wird mit elektrischer Leistung entsprechend dem korrigierten Bezugswert E1E0 versorgt.
申请公布号 DE102004029103(A1) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 DE200410029103 申请日期 2004.06.16
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 SATA, NOBUYUKI
分类号 H05B3/00;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/324;H01L21/477;F27D19/00;G03F7/38;G05D23/20;G05D23/27 主分类号 H05B3/00
代理机构 代理人
主权项
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