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发明名称 DICKENMESSUNG MIT EINEM RASTERKRAFTMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE60103748(T2) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 DE2001603748T 申请日期 2001.02.21
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 PHAN, A.;RANGARAJAN, BHARATH;SINGH, BHANWAR
分类号 G01B5/28;G01B7/34;G01B21/08;G01B21/18;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q80/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B7/34;G01N27/00 主分类号 G01B5/28
代理机构 代理人
主权项
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