发明名称 Diffusion Prevention Film, Fabrication Method Therefor, Semiconductor Storage Device and Fabricating Method Therefor
摘要
申请公布号 KR100495679(B1) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 KR20020036321 申请日期 2002.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;H01L27/108;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/8242;H01L21/8246;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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