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发明名称 Substrathalter
摘要
申请公布号 DE10150809(B4) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 DE20011050809 申请日期 2001.10.15
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人 KREUDER, GERHARD;KAUSEN, HANS GUENTHER;MICHELS, FRANK
分类号 C23C14/50;G11B7/00;G11B7/26;H01L21/687;(IPC1-7):B65G47/90 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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