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发明名称 A METHOD FOR MEASURING A THICKNESS OF THIN LAYER
摘要
申请公布号 KR20050056710(A) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 KR20030089759 申请日期 2003.12.10
申请人 SILTRON INC. 发明人 CHOI, DAE RIM
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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