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发明名称
Method for Forming a Metallic Thin Film onto High Resistive Substrate by Electroplating
摘要
申请公布号
KR100495648(B1)
申请公布日期
2005.06.16
申请号
KR20030015225
申请日期
2003.03.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/288
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
地址
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