METHOD OF FORMING A THIN FILM HAVING ENHANCED PRODUCTAVITY,申请号KR20030090400-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF FORMING A THIN FILM HAVING ENHANCED PRODUCTAVITY
摘要
申请公布号	KR20050058146(A)	申请公布日期	2005.06.16
申请号	KR20030090400	申请日期	2003.12.11
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	WON, SEOK JUN;KIM, WEON HONG;KWON, DAE JIN
分类号	C23C16/44;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/461;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	C23C16/44
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